加速度測量的原理十分簡(jiǎn)單并且相當可靠，其理論基礎為與慣性質(zhì)量有關(guān)的牛頓第二定律。

加速度傳感器元件的基本構成包括主體、彈簧和慣性質(zhì)體。當傳感器主體的速度發(fā)生變化時(shí)，會(huì )產(chǎn)生隨著(zhù)速度變化而變化的力，該力將通過(guò)彈簧被施加于慣性質(zhì)體上。具體來(lái)說(shuō)，首先該力使彈簧發(fā)生彎曲，然后元件主體與慣性質(zhì)體的距離會(huì )與加速度成比例地發(fā)生變化。

傳感器的工作原理會(huì )根據主體與慣性質(zhì)體相對移動(dòng)的檢測方式的不同而有所差異。電容式傳感器，主體與慣性質(zhì)體是相互絕緣的，通過(guò)測量電容來(lái)檢測加速度。當主體與慣性質(zhì)體之間的距離減小時(shí)，電容就會(huì )增加，電流會(huì )向傳感器的信號處理IC流動(dòng)。距離增加時(shí)，情況則會(huì )相反。傳感器可將主體的加速度轉化為電流、電荷、電壓三者之一從而進(jìn)行測量。

核心技術(shù)，傳感器可通過(guò)微小的電容變化來(lái)進(jìn)行相關(guān)測量，該模式特別適合被用于檢測傳感器的細微運動(dòng)，且性能卓越。加速度傳感元件是以單晶硅和玻璃為材料制成的，因此傳感器產(chǎn)品可輕松應對使用時(shí)間和溫度變化帶來(lái)的各種挑戰，具有出色的可靠性和穩定性以及前所未有精度。

量程1g的傳感元件能夠承受超過(guò)50,000g標準的加速度 (1g=地球引力所產(chǎn)生的重力加速度) 。電容式的傳感元件不僅能夠測量正負兩個(gè)方向的加速度，還能檢測靜止加速度和振動(dòng)。

Low-G加速度傳感器和傾斜傳感器的核心部分，是兩個(gè)位置對稱(chēng)的以體型微加工技術(shù)制成的具有電容特性的加速度傳感器元件。對稱(chēng)的結構不僅減小了溫度依賴(lài)性和它軸靈敏度，還提升了線(xiàn)性。密封性是通過(guò)以陽(yáng)極接合的方式使晶元相互接合來(lái)實(shí)現的。

因此，傳感元件的封裝變得更容易，可靠性也更好，同時(shí)傳感器內阻尼氣體的使用也成為可能。

3軸檢測

3軸加速度傳感器的設計理念是始終沿襲使用1軸加速度傳感器的方式。3軸加速度傳感器元件所用到的技術(shù)包括由1軸加速度傳感器發(fā)展而來(lái)的技術(shù)，Bulk MEMS工藝以及電容檢測結構等。

傳感器元件元件內部有多個(gè)質(zhì)量塊，這些通過(guò)分散MEMS技術(shù)加工出的質(zhì)量塊被晶元表面周?chē)呐まD彈簧支撐著(zhù)。與表面MEMS工藝相比，厚度和重量都更大，從而可以實(shí)現高靈敏度和低噪音。

最終的檢測結果由將多個(gè)質(zhì)量塊的檢測結果矢量疊加得到的。質(zhì)量塊的上下兩側具有電容檢測的功能。當質(zhì)量塊被施加一個(gè)加速度時(shí)，通過(guò)扭轉彈簧的作用，質(zhì)量塊會(huì )向旋轉方向運動(dòng)，從而質(zhì)量塊上下兩側的電容會(huì )隨之發(fā)生變化。

多個(gè)質(zhì)量塊的矢量組成通過(guò)內部的ASIC進(jìn)行合成計算，就能輸出傳感器X,Y,Z三個(gè)方向的加速度。根據計算結果就能夠實(shí)現3軸的高精度線(xiàn)性響應。